一:CCI HD適合用于制造和研究領(lǐng)域,可測量厚度至1.5微米的厚膜及厚度至50納米的薄膜涂層。
CCI HD 是一種非接觸式光學(xué) 3D 輪廓儀,具有測量薄膜和厚膜的功能。 它采用享有的新型關(guān)聯(lián)算法,來查找由我們的精密光學(xué)掃描裝置產(chǎn)生的干涉圖的相干峰和相位。 這種新型的 CCI HD 整合了世界領(lǐng)先的非接觸式尺寸測量功能和先進(jìn)的厚薄膜測量技術(shù)。
CCI HD 除了提供尺寸和粗糙度測量功能,還可以提供兩種類型的膜厚測量。 近年來厚膜分析被用于研究厚度至約 1.5 微米的半透明涂料;測量的厚度限制取決于材料的折射率和標(biāo)的物的 NA。 測量較薄的涂層被證實為難度更高。
現(xiàn)在通過干涉測量法可以研究厚度至 50 納米(同樣取決于折射率)的薄膜涂層。 采用這種新型方法,可以在單次測量中研究膜厚、界面粗糙度、針孔缺陷以及薄涂層表面的剝離等特性。
1.2048 x 2048像素陣列,視場廣,高分辨率
2.全量程0.1埃的分辨率
3.適用于0.3% - 100%的表面反射率
4.RMS 重復(fù)精度<0.2埃,階躍高度重復(fù)精度<0.1%
5.多語言版本的64位控制和分析軟件
二:CCI MP-HS非常適合用于研究領(lǐng)域,從非常粗糙的表面到極其光滑的表面,任何類型的表面它都能測量,因而具備測量各種元件的能力。
無論測量的是何種元件,無論對分析速度的要求有多高,我們創(chuàng)新的CCI MP-HS非接觸式光學(xué)輪廓儀都能為您提供精密的3D表面測量結(jié)果。 一百萬高速相機(jī)與1/10埃垂直分辨率相結(jié)合,無論是測量非常粗糙的表面,還是測量極其光滑的表面,都能獲得令人不可思議的詳細(xì)分析。
CCI MP-HS極大地擴(kuò)展了分析能力,同時又不至于讓分析程序變得更復(fù)雜。 您可以測量各種各樣的元件和表面,不需要進(jìn)行復(fù)雜的測量模式切換,也不會給中間透鏡的校準(zhǔn)增加額外的負(fù)擔(dān)。 通過標(biāo)準(zhǔn)化的方法、程序和報告,CCI MP-HS可輕松地整合到您的質(zhì)量管理系統(tǒng)中。
1.1048 x 1048像素陣列,視場廣,高分辨率
2.高級X、Y、Z拼接,擴(kuò)展量程
3.RMS重復(fù)精度<0.2 埃,階躍高度重復(fù)精度<0.1%
4.整合抗振,優(yōu)化抗噪性能
5.多語言版本的Windows,64位軟件
三:CCI MP 是一種多功能的非接觸式 3D 輪廓儀,可測量拋光表面、粗糙表面、曲面、平面或臺階面。
CCI MP是一種高級的測量干涉儀(非接觸式3D輪廓儀)。 它采用享有的新型關(guān)聯(lián)算法,來查找由我們的精密光學(xué)掃描裝置產(chǎn)生的干涉圖的相干峰和相位。
CCI MP對于很多需要進(jìn)行高精度3D輪廓分析的應(yīng)用非常有用。 轉(zhuǎn)臺上可以同步裝配各種各樣的標(biāo)的物,因而可測量多種類型的表面。 自動的工作臺和自動測量程序進(jìn)一步增強(qiáng)了測量的靈活性。
CCI MP非接觸式3D輪廓儀的一個關(guān)鍵優(yōu)勢就是功能多、用途廣。 反射率為0.3%至100%的拋光表面、粗糙表面、曲面、平面或臺階面,都能使用一種算法進(jìn)行測量,不需要為不同的表面改變模式,也不用擔(dān)心會選擇錯誤的模式。 可測量的材料類型包括: 玻璃、液體墨水、光刻膠、金屬、聚合物和糊劑。
1.1048 x 1048像素陣列,視場廣,高分辨率
2.經(jīng)過改良的新型X、Y、Z拼接,量程多達(dá)100毫米
3.RMS重復(fù)精度<0.2埃,階躍高度重復(fù)精度<0.1%
4.全量程埃級分辨率
5.多語言版本的Windows 7,64位軟件
四:CCI光學(xué)裝置
無論對分析速度的要求有多高,我們創(chuàng)新的CCI光學(xué)裝置非接觸式光學(xué)輪廓儀都能為您提供精密的3D表面測量結(jié)果。 高分辨率相機(jī)與1/10埃垂直分辨率相結(jié)合,無論是測量非常粗糙的表面,還是測量極其光滑的表面,都能獲得令人不可思議的詳細(xì)分析。
CCI光學(xué)裝置與光學(xué)研究人員和科學(xué)家的專業(yè)知識保持與時俱進(jìn),能滿足光學(xué)領(lǐng)域的嚴(yán)苛測量要求。 CCI光學(xué)裝置將強(qiáng)大的尺寸及粗糙度分析軟件與無與倫比的工程設(shè)計融于一體,是一種非常適合用于粗糙度測量的檢驗工具。 CCI優(yōu)質(zhì)的薄膜厚度測量功能,進(jìn)一步完善了為光學(xué)工業(yè)而設(shè)計的出色計量包裝 。
1.2048 x 2048像素陣列,視場廣,高分辨率
2.全量程0.1埃的分辨率
3.輕松測量反射率為0.3% - 100%的各種表面
4.RMS重復(fù)精度<0.2埃,階躍高度重復(fù)精度<0.1%
5.多語言版本的64位控制和分析軟件
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