TalysurfPGI系列設(shè)置簡(jiǎn)單,易于使用,專為分析高精密應(yīng)用而設(shè)計(jì)。
為了滿足現(xiàn)代眾多應(yīng)用需求,許多部件都需要具備高質(zhì)量、高耐用性、高精度和可信賴性。
Taylor Hobson對(duì)半徑、形狀、輪廓和主波長(zhǎng)等能夠進(jìn)行深入分析,為設(shè)計(jì)和生產(chǎn)提供重要的反饋。
專為您的應(yīng)用需求而設(shè)計(jì)
- 滿足下一代日益增長(zhǎng)的科技需求
醫(yī)療:深入分析醫(yī)療植入物的特性,例如磨損,可為植入物的設(shè)計(jì)提供至關(guān)重要的反饋。
汽車行業(yè):表面缺陷和劃痕分析,把控生產(chǎn)過(guò)程。
噴油器:形狀、直線度和表面粗糙度分析,把控生產(chǎn)過(guò)程。
航空航天:TalysurfPGI系列儀器可使用Q-Link (生產(chǎn)管理界面) ,適用于數(shù)據(jù)和嚴(yán)格標(biāo)準(zhǔn)的操作程序的控制。
研發(fā):滿足大學(xué)和研究機(jī)構(gòu)中對(duì)富有挑戰(zhàn)性的應(yīng)用和廣泛測(cè)量需求
以下參數(shù)對(duì)儀器性能的發(fā)揮有著至關(guān)重要的作用:
噪音:
所有測(cè)量?jī)x器都需要有一個(gè)穩(wěn)定的測(cè)量基準(zhǔn)框架。噪音是測(cè)量由儀器所處環(huán)境和測(cè)量?jī)x器對(duì)結(jié)果 產(chǎn)生的影響。
Taylor Hobson引用的是全系統(tǒng)噪音而其它生產(chǎn)商僅僅引用傳感器噪音。
重復(fù)性:
重復(fù)性是在儀器重現(xiàn)表面或者輪廓形狀時(shí)測(cè)量能力的真實(shí)表現(xiàn)。
Taylor Hobson出色的重復(fù)能力價(jià)值能夠保證測(cè)量的完整性和測(cè)量結(jié)果的可信任度。其它生產(chǎn)商則無(wú)
法達(dá)到此標(biāo)準(zhǔn)參數(shù)。
直線度精度:
被測(cè)量表面與參照基準(zhǔn)對(duì)比的一致性是形狀和半徑測(cè)量的必要條件。
Taylor Hobson通過(guò)使用一個(gè)高精度基準(zhǔn)導(dǎo)軌。實(shí)現(xiàn)超高的直線度, 基準(zhǔn)導(dǎo)軌是在工廠內(nèi)部使用高
精密研磨工藝制造確保正確的直線度。
量程與分辨率的比率:
量程分辨率是測(cè)量量程及其分辨率的比率。
TalysurfPGI 2000S能夠提供分辨率0.3nm量程20mm的選擇,一次測(cè)量便可實(shí)現(xiàn)亞微米精度的
表面粗糙度、大形狀和輪廓的測(cè)量。
傳感器性能:
對(duì)任何測(cè)量系統(tǒng)來(lái)說(shuō),傳感器直線度在評(píng)估形狀和表面偏差時(shí)發(fā)揮著至關(guān)重要的作用。傳感器精度 與測(cè)針針尖和傳感器之間的反饋密切相關(guān),是傳感器在量程移動(dòng)范圍內(nèi)顯示值和真實(shí)值之間的最大 誤差。
Talysurf PGI在大小量程范圍內(nèi)有著高級(jí)別的精度。
世界領(lǐng)先的表面粗糙度、半徑和形狀精度
擁有權(quán)的傳感器校準(zhǔn)程序以及以上所提到的功能的綜合:噪音、重復(fù)性、量程分辨率 和直線度都會(huì)影響表面粗糙度、半徑和形狀精度。這些參數(shù)保證了儀器擁有多樣性和高精度的測(cè)量能力。
TAYLOR-PGI2000/2000E/2000S技術(shù)參數(shù):
一、系統(tǒng)性能:
形狀校準(zhǔn)誤差(Pt):<0.20μm (8 μin) ;
系統(tǒng)噪音:Rq < 2 nm (0.08 μin), Rz < 10 nm (0.39 μin) ;
半徑測(cè)量不確定度:0.1 - 10mm (0.004 - 0.39in) -標(biāo)稱值< 1μm;10 - 360mm (0.39 - 14.17in) - 標(biāo)稱值的0.01% 至0.006%
斜坡測(cè)量不確定度:0.5 角分;
Z軸傾斜重復(fù)性:平面表面- 0.08 μm (3.1 μin);曲面表面- 0.08 μm (3.1 μin);
二、水平性能:
驅(qū)動(dòng)長(zhǎng)度– X最大/最?。?20 mm / 0.1 mm (4.7 in / 0.004 in) 或200 mm / 0.1 mm (7.9 in / 0.004 in) ;
驅(qū)動(dòng)速度:最大 13 mm/s (0.51 in/s);
測(cè)量速度:0.25 mm/s, 0.5 mm/s, 1 mm/s & 2 mm/s (0.01 in/s, 0.02 in/s, 0.04 in/s & 0.08 in/s) ;
X軸最小采樣間距:0.125 μm (5 μin) ;
直線度精度(Pt):120 mm 驅(qū)動(dòng)箱- 0.08 μm (3.2 μin) / 200 mm 驅(qū)動(dòng)箱- 0.110 μm (4.3 μin) ;
X軸傾斜精度:(1 + 0.02 L) μm ;
三、垂直性能:
標(biāo)稱測(cè)量量程(Z):20 mm (0.79 in) ;
分辨率(Z):PGI2000/5.3nm (0.21μin);PGI2000E/1.3nm (0.05μin);PGI2000S/0.3nm (0.01μin);
量程與分辨率的比率:PGI2000/3773585:1;PGI2000E/15384615:1;PGI2000S/66666666:1;
直線度精度:0.07+0.03Z[mm]μm;(3+30Z[in]μin);
測(cè)針臂長(zhǎng)度:標(biāo)準(zhǔn)長(zhǎng)度100mm;
針尖大?。?μm半徑錐球形金剛石測(cè)針;
測(cè)針針尖壓力:<1mN;
TAYLOR-PGI1500/1500E/1500S技術(shù)參數(shù):
一、系統(tǒng)性能:
形狀校準(zhǔn)誤差(Pt):<0.15μm (6μin) ;
系統(tǒng)噪音:Rq<2nm (0.08μin),Rz<10nm (0.39μin) ;
半徑測(cè)量不確定度:0.1 - 10mm (0.004 -0.39in) -標(biāo)稱值< 1μm;10 - 360mm (0.39 - 14.17in) - 標(biāo)稱值的0.01% 至0.006%
斜坡測(cè)量不確定度:0.5 角分;
Z軸傾斜重復(fù)性:平面表面-0.08μm (3.1μin);曲面表面- 0.08μm (3.1μin);
二、水平性能:
驅(qū)動(dòng)長(zhǎng)度– X最大/最小:120mm / 0.1mm (4.7in/0.004in)或200mm/0.1mm(7.9in/0.004in) ;
驅(qū)動(dòng)速度:最大13mm/s(0.51in/s);
測(cè)量速度:0.25mm/s,0.5mm/s,1mm/s和2mm/s(0.01in/s,0.02in/s,0.04in/s和0.08in/s) ;
X軸最小采樣間距:0.125μm (5μin) ;
直線度精度(Pt):120mm驅(qū)動(dòng)箱-0.08μm (3.2μin)/200mm驅(qū)動(dòng)箱-0.110μm (4.3μin) ;
X軸傾斜精度:(1+0.02L)μm ;
三、垂直性能:
標(biāo)稱測(cè)量量程(Z):15mm (0.59in) ;
分辨率(Z):PGI1500/5.3nm (0.21μin);PGI1500E/1.3nm (0.05μin);PGI1500S/0.3nm (0.01μin);
量程與分辨率的比率:PGI1500/3773585:1;PGI1500E/11538461:1;PGI1500S/50000000:1;
直線度精度:0.07+0.03Z[mm]μm;(3+30Z[in]μin);
測(cè)針臂長(zhǎng)度:標(biāo)準(zhǔn)長(zhǎng)度100mm;
針尖大?。?μm半徑錐球形金剛石測(cè)針;
測(cè)針針尖壓力:<1mN;
TAYLOR-PGI1000/1000E/1000S技術(shù)參數(shù):
一、系統(tǒng)性能:
形狀校準(zhǔn)誤差(Pt):<0.15μm (6μin) ;
系統(tǒng)噪音:Rq<2nm (0.08μin),Rz<10nm (0.39μin) ;
半徑測(cè)量不確定度:0.1-10mm (0.004-0.39in) -標(biāo)稱值<1μm;10- 360mm (0.39-14.17in) -標(biāo)稱值的0.01%至0.006%
斜坡測(cè)量不確定度:0.5 角分;
Z軸傾斜重復(fù)性:平面表面-0.08μm (3.1μin);曲面表面- 0.08μm (3.1μin);
二、水平性能:
驅(qū)動(dòng)長(zhǎng)度– X最大/最?。?20mm/0.1mm (4.7in/0.004in)或200mm/0.1mm(7.9in/0.004in) ;
驅(qū)動(dòng)速度:最大13mm/s(0.51in/s);
測(cè)量速度:0.25mm/s,0.5mm/s,1mm/s和2mm/s(0.01in/s,0.02in/s,0.04in/s和0.08in/s) ;
X軸最小采樣間距:0.125μm (5μin) ;
直線度精度(Pt):120mm驅(qū)動(dòng)箱-0.08μm (3.2μin)/200mm驅(qū)動(dòng)箱-0.110μm (4.3μin) ;
X軸傾斜精度:(1+0.02L)μm ;
三、垂直性能:
標(biāo)稱測(cè)量量程(Z):10mm (0.39in) ;
分辨率(Z):PGI1000/5.3nm (0.21μin);PGI1000E/1.3nm (0.05μin);PGI1000S/0.3nm (0.01μin);
量程與分辨率的比率:PGI1000/3773585:1;PGI1000E/7692307:1;PGI1000S/33333333:1;
直線度精度:0.07+0.03Z[mm]μm;(3+30Z[in]μin);
測(cè)針臂長(zhǎng)度:標(biāo)準(zhǔn)長(zhǎng)度100mm;
針尖大小:2μm半徑錐球形金剛石測(cè)針;
測(cè)針針尖壓力:<1mN;
一、測(cè)量臺(tái):
驅(qū)動(dòng)單元機(jī)動(dòng)傾斜:可選、傾斜±9°;
儀器尺寸:
儀器重量:223Kg(450mm高度立柱);(可選700mm高度立柱237Kg) ;
電動(dòng)垂直立柱:450mm(17.7in)(可選700mm(29.5in));
二、環(huán)境要求:
儲(chǔ)存溫度:5oC至40oC(41oF至104oF);
儲(chǔ)存濕度:相對(duì)10%至80%,無(wú)結(jié)露;
工作溫度:18oC到22oC(64oF到72oF) ;
溫度梯度:<2oC/小時(shí) (<3.6oF/小時(shí));
工作濕度:相對(duì)45%至75%,無(wú)結(jié)露;
最大RMS地面震動(dòng):<50Hz時(shí),3μm/s (120μin/s);<50Hz時(shí),6μm/s(200μin/s) ;
激光級(jí)別:級(jí)別1產(chǎn)品EN60825-1(2001),連續(xù)光波(CW)輸出<1mW激光最大功率,<50μW產(chǎn)品最大功率;
三、電源:
電源類型:交流、單相接地(3線制);
儀器和計(jì)算機(jī)電壓:90V-230V;
頻率:47Hz到63Hz;
電源電壓瞬變值-寬度:EN61000-4-4:1995;
功耗:500VA;
安全:EN61010-1:2001;
EMC:EN61000-6-4:2001;EN61000-6-1:2001;
以上引用的參數(shù)數(shù)據(jù)是在可控制環(huán)境內(nèi)的計(jì)量實(shí)驗(yàn)室得出的:20°C ±1°C (68°F ± 1.8°F),無(wú)通風(fēng),獨(dú)立于低頻率噪音震動(dòng)端。
不確定度和最大允許誤差(MPE's)是在95%置信區(qū)間下測(cè)得,參照ISO的《測(cè)量不確定度表示指南》(GUM: 1993)。所有誤差如MPE表述。
注釋:
1.在一個(gè)半徑為80mm (3.15in) 玻璃標(biāo)準(zhǔn)器上的LS圓弧分析(速度=1mm/s, 原始濾波器Ls=0.25mm) ;
2.與驅(qū)動(dòng)基準(zhǔn)標(biāo)稱平行的玻璃平晶上進(jìn)行5次可追溯測(cè)量的平均量,使用100mm長(zhǎng)金剛石針尖測(cè)針(速度=0.5mm/s,高斯濾波器, Lc 0.08mm, Ls 0.0025mm);
3.假設(shè)標(biāo)定球?yàn)槔硐氚霃?;
4.測(cè)量值在傳感器量程80%的上下35o角坡度內(nèi)得到,使用金剛石針尖100mm的測(cè)針;
5.與驅(qū)動(dòng)基準(zhǔn)標(biāo)稱平行的玻璃平晶上重復(fù)測(cè)量,使用100mm長(zhǎng)金剛石針尖測(cè)針(速度 = 1mm/s,原始濾波器Ls=0.025mm) ;
6.在一個(gè)半徑為80mm (3.15in) 玻璃標(biāo)準(zhǔn)重復(fù)測(cè)量,使用100mm長(zhǎng)的金剛石針尖(速度=1mm/s,,原始濾波器LS=0.025mm) ;
7.對(duì)于表面粗糙度測(cè)量, 建議使用0.5mm/s (0.02in/s)或更低的速度。
8.與驅(qū)動(dòng)基準(zhǔn)標(biāo)稱平行的玻璃平晶上測(cè)量,使用100mm長(zhǎng)的金剛石針尖(速度=1mm/s,LS直線分析,原始濾波器Ls=2.5mm) ;
9.L的單位是mm;
10.使用100mm長(zhǎng)的金剛石測(cè)針; |