場(chǎng)發(fā)射掃描式電子顯微鏡(FEGSEM:Field Emission Gun Scanning Electron Microscopy)
使用六硼化鑭(LaB6)或納米碳管(CNT)制作成針尖小于100nm(納米)的納米尖端來(lái)發(fā)射電子束(場(chǎng)發(fā)射),
納米尖端可以使電子束的直徑縮小到10nm(納米)左右,
其原理與掃描式電子顯微鏡(SEM)相同,如圖4-54(d)所示為場(chǎng)發(fā)射掃描式電子顯微鏡(FEGSEM)照片,場(chǎng)發(fā)射掃描式電子顯微鏡(FESEM)的解析度更高,可以用來(lái)觀察大約10nm(納米)的結(jié)構(gòu),但是只能觀察物體表面的高低起伏,所以表面平整的物體無(wú)法使用。
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