光學(xué)零件非球面檢測(cè)技術(shù)-表面粗糙度儀器廠家
非球面檢測(cè)
非球面
非球面對(duì)于光學(xué)系統(tǒng)非常重要,因?yàn)樗芴岣吖馐馁|(zhì)
量、減少光學(xué)零件數(shù)目、減少重量和節(jié)省費(fèi)用。這些優(yōu)點(diǎn)都
是因?yàn)榉乔蛎嬗懈箪`活性和像差補(bǔ)償?shù)目赡苄?。從技術(shù)
角度出發(fā),一個(gè)非球面即是球面的任意表面,但在光學(xué)系統(tǒng)
中有幾個(gè)常用的非球面。二次曲面是一種軸對(duì)稱非球面
一般非球面包含著二次項(xiàng)和高次旋轉(zhuǎn)對(duì)稱項(xiàng)。到達(dá)三
級(jí)像差水平的時(shí)候,所有加高次項(xiàng)的非球面都區(qū)別于二次曲
面。高次項(xiàng)僅影響高級(jí)像差。
表面粗糙度:
表面粗糙度的絕對(duì)測(cè)量假設(shè):
·表面高度是隨機(jī)的;
·統(tǒng)計(jì)值不隨表面變化;
·被測(cè)面和參考面是不相關(guān)的。
參考面上的任意表面粗糙度都會(huì)造成被測(cè)表面的測(cè)量
誤差
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