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今天介紹掃瞄電子顯微鏡SEM的原理跟應(yīng)用，掃瞄電子顯微鏡用在很多的場(chǎng)合，包括材料分析跟一些破壞分析都用的到，所謂掃瞄電子顯微鏡的英文全名為Scanning Electron Microscopy，簡(jiǎn)稱為SEM。 我們今天上課分為五個(gè)部份，因?yàn)闀r(shí)間的關(guān)係每個(gè)部份只能大概包含一些重點(diǎn)，其中主要就是我們電子顯微鏡中電子束形成的方式是第工一個(gè)，接下來(lái)就是掃瞄電子顯微鏡的內(nèi)部構(gòu)造稍為做一些簡(jiǎn)介，再下來(lái)我們會(huì)提到電子顯微鏡成像，就是它形成的影像是什麼樣的形式，它有那些的原理我們會(huì)做一個(gè)介紹，第四個(gè)部份就是會(huì)介紹掃瞄電子顯微鏡裡面最重要一個(gè)輔助的功能，也就是成份分析，你在看你試片的影像的同時(shí)，也可以知道試片裡面含有什麼樣的元素，這成份分析簡(jiǎn)稱為EDS，這個(gè)我們會(huì)做詳細(xì)的說(shuō)明，最后一個(gè)部份會(huì)簡(jiǎn)單的介紹電子顯微鏡它的試片製備，以及需要注意哪些地方。 這邊有幾個(gè)參考的書籍，這門課裡面主要是由這本書Scanning Electron Microscopy and X-ray Microanalysis這本書的一些圖片跟檔桉來(lái)製作完成的，這本書由1990年代發(fā)行，雖然現(xiàn)在已經(jīng)沒(méi)有再發(fā)行，不過(guò)它的內(nèi)容非常好。至于中文的部份是由陳力俊院士，正是目前國(guó)科會(huì)副主任委員，他所著作的一本書叫做材料電子顯微鏡，是由國(guó)科會(huì)精密儀器中心發(fā)行的。