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測(cè)量具幾何形狀零件,機(jī)械化和自動(dòng)化檢驗(yàn)顯微鏡專用測(cè)量器具是用于測(cè)量具有一定幾何形狀零件的特殊元素，或用予測(cè)量與零件幾何形狀無(wú)關(guān)的特殊參數(shù)的測(cè)量器具。 屬于測(cè)量具有一定幾何形狀零件的專用測(cè)量器具有量規(guī)、測(cè)角儀器、螺紋量?jī)x，齒輪量?jī)x、機(jī)械化和自動(dòng)化檢驗(yàn)儀器。 屬于測(cè)量零件特殊參數(shù)值的專用測(cè)量器具有表面粗糙度量?jī)x及形狀和表面位置偏差量?jī)x。坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的測(cè)量原理實(shí)質(zhì)上都是一樣的。測(cè)量時(shí)，零件安裝在儀器的工作臺(tái)上，即可測(cè)量零件的全部參數(shù)，不偏重新安裝，當(dāng)然，零件在工作臺(tái)上安裝表面的位置偏差除外。總的說(shuō)來(lái)，坐標(biāo)測(cè)量機(jī)可以測(cè)量平行六面體零件的五個(gè)面，而不必重新安裝零件。測(cè)量時(shí)，傳感器沿三個(gè)坐標(biāo)軸方向移動(dòng)，而零件不動(dòng)或者零件沿x和y軸移動(dòng)，而傳感器僅沿z軸移動(dòng)；或者零件僅沿x軸移動(dòng)，而傳感器沿y和z軸移動(dòng)。 在作這類測(cè)量時(shí)，傳感器或者裝著零件的工作臺(tái)在移動(dòng)過(guò)程中，測(cè)量系統(tǒng)就確定傳感器和零件的相對(duì)位移量，向記錄裝置或計(jì)算裝置中輸入信號(hào)，表征傳感器測(cè)量頭與被測(cè)零件表面接觸瞬間以前的三個(gè)坐標(biāo)方向的位移量。在某些測(cè)量機(jī)中，傳感器給出的信號(hào)不僅表示讀數(shù)測(cè)量系統(tǒng)的位移量，而且還表示直接由傳感器來(lái)的補(bǔ)充數(shù)據(jù)，提供測(cè)量頭同時(shí)在三個(gè)坐標(biāo)方向偏移的信息，以減小由測(cè)量系統(tǒng)慣性所引起的誤差。 坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的規(guī)格被測(cè)零件的最大尺寸，有的到400-500mm，有的到8一lOm，還有一些通用測(cè)量機(jī)可測(cè)尺寸到16m的零件。用得最廣泛的是可測(cè)最大尺寸為500～1000mm的零件的測(cè)量機(jī)，因?yàn)檫@類零件形狀復(fù)雜，在機(jī)器制造中應(yīng)用最多。 測(cè)量機(jī)坐標(biāo)導(dǎo)軌在很大程度上影響測(cè)量的精度。大多數(shù)坐標(biāo)測(cè)量機(jī)用空氣靜壓導(dǎo)軌或滾珠滾柱導(dǎo)軌。如用空氣靜壓導(dǎo)軌，其底座常用巖石制成。巖石與金屬相比，在承受力和熱變形方面都有很大的優(yōu)點(diǎn)。
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