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表面粗糙度的測(cè)量儀器中,觸針測(cè)量應(yīng)用得最多表面粗糙度的測(cè)量 在一般表面粗糙度測(cè)量中，觸針法應(yīng)用最多，由于用針尖半徑非常小韻觸針接觸加工巾的工件表面，所以很難獲得高精度測(cè)量。目前，在加工中測(cè)量工件表面粗糙度；還沒有最有效的測(cè)量方法。當(dāng)工件材質(zhì)與加工方法一定時(shí)，也可以用從工件表面反射來的反射光進(jìn)行測(cè)量。 在表面粗糙度的光學(xué)測(cè)量中，除反射光分布法外，還有光波干涉法和光切法。光波干涉法是以光波波長為測(cè)量基準(zhǔn)，這種方法靈敏度嵩狙如果表面不是經(jīng)研磨的光潔表面時(shí)，很難用這種方法測(cè)量。特別是由于在加工中工件韻振動(dòng)，大大地妨礙了這種方法的應(yīng)用。光切法是利用前面講的激光光點(diǎn)或激光射線對(duì)工件掃描，測(cè)出表面粗糙度。 很早以前就研究了加工表面的粗糙度與工件表面漫反射光的關(guān)系。因?yàn)檫@種測(cè)量方法是非接觸測(cè)量，測(cè)量方法簡單易行 但是，漫反射光分布測(cè)量法是測(cè)量表面的平均反射光，如果認(rèn)為表面粗糖度是統(tǒng)計(jì)值，利用這種方法是可以的，但是要了解粗糙度曲線的全面形狀，此種方法就有其不足之處 加工表面漫反射光的分布，不但受表面凹凸高度的影響，也受凹凸形狀、表面紋理微細(xì)裂紋等影響。由于加工零件材質(zhì)不同，反射光的波長和強(qiáng)度也發(fā)生變化：因此利用漫反射光分布測(cè)量表面粗糙度時(shí)，一般需事先確定加工材料和加工方法。光點(diǎn)位移測(cè)量法與前面所敘述的激光光點(diǎn)測(cè)量法相似。光點(diǎn)測(cè)量位置是在光軸方向上測(cè)出工件表面反射來的反射象點(diǎn)的位置。用光點(diǎn)測(cè)量表面粗糙度時(shí)，是在垂直于光軸的直線上(在熒光屏上)測(cè)量表面粗糙度形成的反射象點(diǎn)的位置。為了成象，必須機(jī)械地掃描被測(cè)表面，因此也可將這種裝置看作是一種掃描型的激光光電顯微鏡。
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