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高精度零件加工組裝視覺顯微鏡,集成電路工藝 實際應(yīng)用的裝配系統(tǒng)，一般采用集中裝配的方法，即整個微系統(tǒng)的器件都在一個裝配系統(tǒng)中完成。采用這樣的裝配方式不僅不能很好地解決微裝配存在的三維信息提取、全局一局部視覺系統(tǒng)集成、粗一細(xì)運(yùn)動平臺控制、裝配系統(tǒng)復(fù)雜等問題，還帶來了新的問題，主要是： （1 ）采用機(jī)械手傳輸待裝配的器件，由于傳輸?shù)木嚯x遠(yuǎn)，機(jī)械手須特殊設(shè)計，且設(shè)計困難。當(dāng)傳輸不同形狀零件時，機(jī)械手的末端執(zhí)行器需要更換，浪費了裝配時間。 （2 ）微裝配中使用的裝配機(jī)械手必須按零件鼓高的裝配精度來設(shè)計，例如，一個微系統(tǒng)有十個零件，其中，九個零件的裝配精度低于1 微米，另一個零件的裝配精度為0.01微米，則機(jī)械手末端執(zhí)行器的定位精度必須小于0.01微米。這樣就大大增加了機(jī)械手的設(shè)計成木。同樣，對于不同形狀的零件，也需要更換末端執(zhí)行器，降低了裝配效率。 （3 ）同樣，視覺系統(tǒng)的放大倍數(shù)，放置裝配子系統(tǒng)的運(yùn)動平臺都需要按最高精度來配置。 （4 ）集中式裝配系統(tǒng)由于結(jié)構(gòu)復(fù)雜，并不能將問題分解、簡化，從而最終解決。正好相反，它將許多問題集中在一起，形成更加復(fù)雜的問題。 要使微機(jī)電產(chǎn)品實用化，首要的問題是降低成本、提高效率、能進(jìn)行批量生產(chǎn)和基于集成電路工藝的微機(jī)電產(chǎn)品生產(chǎn)一樣）。所以必須降低微裝配系統(tǒng)的成本，提高裝配效率，使得微裝配系統(tǒng)標(biāo)準(zhǔn)化、模塊化和通用化，而不是針對不同的微產(chǎn)品設(shè)計不同的裝配系統(tǒng)。
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