微機械可以達高精度,自動化微裝配工具顯微鏡 微操作機械手是微裝配與微操作系統(tǒng)中的核心設(shè)備,除手工裝配與操作外,交互微裝配和自動化微裝配都需要機械手參與。 由于微器件的尺寸很小,它的裝配精度要求非常高,通常是亞微米或納米級的,這就要求機械手要有高的精度。為了達到高的精度, 一般機械手自由度為三個,如需更多的自由度,一般由操作平臺提供?,F(xiàn)有的微操作機械手可以分為兩類:一類使用傳統(tǒng)的方法設(shè)計,利用電機驅(qū)動,滾珠絲桿和齒輪傳動:另一類使用特殊的傳動方式,如壓電陶瓷驅(qū)動。傳統(tǒng)設(shè)計的微操作機械手工作空間大,但精度低,必須采用補償?shù)姆椒ㄌ岣呔取6捎脡弘娞沾沈?qū)動,可以達到高的精度,但工作空間小 對微操作機械手進行控制。第二種為自動控制模式,由傳感器的反饋完成機械手的控制,從而獲得最快的裝配速度。對于復(fù)雜的裝配過程,一般由操作者控制機械手運動, 而對于簡單的任務(wù),一般由機械手自動完成,例如,對于將軸插入孔中的任務(wù),必須由操作者控制完成,而對于機械手的視覺跟蹤,可由機械手根據(jù)控制算法自動完成。 對于高精度的裝配任務(wù),使用壓電陶瓷驅(qū)動的微操作機械手更加合理,與傳統(tǒng)的微操作機械手相比,這種驅(qū)動的機械手不僅位置精度高,控制也比較簡單,惟一的缺點是運動范圍小。一種解決方法是將機械手設(shè)計成可移動的、高精度的微裝配機器人。
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