圖像顯微鏡能夠自動聚焦,配有CCD和顯微圖像軟件 對于微裝配與微操作,兩種定位方式是必須的,一個是平臺的垂直運(yùn)動,以便顯微鏡能夠自動聚焦,另一個是平臺的水平方向的定位運(yùn)動,以便對微器件進(jìn)行操作。高的放大倍數(shù)可以獲得微器件的精確數(shù)據(jù),但是低放大倍數(shù)可以獲得大的視場,以便觀察整個工作空間。使用不同的放大倍數(shù)可以進(jìn)行全局定位和局部高精度操作。 圖像系統(tǒng)包括一個倒置顯微鏡、一個CCD 攝像機(jī)、一個PCI圖像捕捉卡和一個主控計(jì)算機(jī)。倒置顯微鏡使用400 倍的物鏡,CCD 攝像頭安裝在顯微鏡上,以便將顯微圖像通過圖像捕捉卡顯示在計(jì)算機(jī)屏幕上。圖像的特征跟蹤采用半自動遙操作和自動化注射,跟蹤算法運(yùn)行在一個主控計(jì)算機(jī)上。 在不同放大倍數(shù)下的圖像,如果圖像失焦,則在垂直方向移動顯微鏡下的運(yùn)動平臺,從而使圖像聚焦,得到清晰的圖像。在低放大倍數(shù)情況下,選擇一個區(qū)域,使用自動聚焦算法獲得聚焦圖像,然后,在高放大倍數(shù)情況下,對該區(qū)域運(yùn)行聚焦算法,獲得高放大倍數(shù)的聚焦圖像,從而獲得高精度的位置信息。
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