光學(xué)顯微鏡分辨率是0.2微米左右-電鏡特點(diǎn)簡(jiǎn)介 通常,可以將透射電鏡與光學(xué)顯微鏡的原理相對(duì)比,而掃描電子顯微的結(jié)構(gòu)原理卻更類似于傳真照片。在此裝置中,用極細(xì)的電子探測(cè)束掃描試樣時(shí),在其表面上將產(chǎn)生二次電子、反射電子或者X射線。于是,移動(dòng)照射在試樣表面上的電子束照射點(diǎn),如果試樣的形狀或者性質(zhì)發(fā)生變化時(shí),由試樣上產(chǎn)生的量子數(shù)量將發(fā)生變化。所以,如果象電視畫面那樣,用電子束掃描試樣時(shí),對(duì)應(yīng)于上述的二次電子或反射電子等的量子變化量,顯象管的亮度也將同步地發(fā)生變化,于是在熒光屏上就可以得到試樣的象。 就分辨率而言,肉眼約為0.1毫米,光學(xué)顯微鏡的極限分辨率是0.24微米,而掃描電子顯微具有100埃以下的實(shí)用分辨率。如果使用高輝度的電子槍,可以達(dá)到25埃的分辨率。因?yàn)橥干潆婄R的分辨率可達(dá)2^,3埃,所以,就分辨率這一點(diǎn)而論,掃描電子顯微不如TEM。但是,它具有以下特點(diǎn):(1)焦點(diǎn)深度大,可以觀察立體象,(2)不必制作復(fù)膜可以直接觀察固體表面。 此外,觀察掃描電子顯微象時(shí),是觀察電子撞擊試樣表面時(shí)所產(chǎn)生的二次電子的象(也包含有反射電子的信息),同時(shí),也產(chǎn)生X射線,當(dāng)使用適當(dāng)?shù)慕邮掌鲿r(shí),也可以作元素分析。而且,應(yīng)用超軟X射線分析時(shí),也能分析化合物中元素的狀態(tài)。
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