微納幾何量指微納器件結(jié)構(gòu)的幾何尺寸-金相顯微鏡應(yīng)用 微納幾何量是指微納器件結(jié)構(gòu)的幾何尺寸,如微梁結(jié)構(gòu)的長、寬、厚度,微結(jié)構(gòu)臺階的高度等特征幾何尺寸。微納幾何量測試就是針對微納器件的幾何尺寸和幾何形貌的精密測試。常見的微納幾何量測試技術(shù)主要有顯微視覺測試技術(shù)、接觸式三維形貌測試技術(shù)、非接觸式三維形貌測試技術(shù)、微納三坐標(biāo)測試技術(shù)以及薄膜厚度測試技術(shù)等。 圖像微納結(jié)構(gòu)完整性檢測與分析主窗口和檢測結(jié)果。通過這種方法可以實現(xiàn)微納幾何圖形的完整性檢測與分析,從而實現(xiàn)微納制造過程中加工工藝與器件結(jié)構(gòu)的在線快速檢查。微納平面動態(tài)特性測最面板電容式MEMS加速度計進(jìn)行平面振動測量,驅(qū)動信號為電壓幅度1.5V,偏置電壓1V的正弦波,經(jīng)20倍增益的高壓運(yùn)算放大器放大后加載到諧振器上(實際驅(qū)動電壓峰峰值為30V,偏置電壓為20V),頻率掃描的起始頻率為0Hz,截至頻率為200Hz,頻率掃描間隔為1 Hz,采用運(yùn)動模糊圖像檢側(cè)技術(shù),結(jié)合頻率掃描方法,得到不同驅(qū)動頻率下MEMS加速度計平面振動的幅頻特性曲線。
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