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電子光束掃描顯微鏡放大倍率大測量范圍小 測試不同鋼珠表面粗糙度與硬度的鋼珠，經(jīng)過連續(xù)加壓且高速下運(yùn)轉(zhuǎn)ㄧ特定程度后， 鋼珠表面因?yàn)榛ハ嗄Σ僚c溫度產(chǎn)生金屬疲勞而有碎裂或是剝落情形， 透過電子光束掃描顯微鏡，取得鋼珠表面影像，然后使用3D量測分析以及縱斷剖面圖學(xué)處理， 即可得到鋼珠表面的高度，利用高度值判斷瑕疵的嚴(yán)重性。但由于此方法取得的影像， 其放大倍率過高，因此觀測范圍變很小，只能檢測鋼珠表面的局部范圍，因此不適宜進(jìn)行大量的自動(dòng)化檢測。