掃描電子顯微鏡的原理試樣制程簡(jiǎn)介
掃描式電子顯微鏡
(ScanningElectronMicroscopy,SEM)
掃描式電子顯微鏡(SEM)
觀察粉末在球磨時(shí)間下,其形態(tài)與顆粒大小的變化趨勢(shì)及觀察熱壓
后塊材的表面型態(tài)。
原理為藉由電子束經(jīng)電壓加速后,經(jīng)電磁透鏡的電子光學(xué)系統(tǒng)使電子束聚集至試片表面
,產(chǎn)生出二次電子等訊號(hào),其訊號(hào)由偵測(cè)器偵測(cè)后,以訊號(hào)放大處理傳送至CRT,
試片表面之形貌等就由此同步成像方式呈現(xiàn);試片的形貌較受到導(dǎo)電影響,若導(dǎo)電
差則需要鍍碳或鍍金
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