三維反射式檢測(cè)顯微鏡M-3D7-幾何光學(xué)原理
產(chǎn)品信息
基于幾何光學(xué)、臨界角法之原理,衍生出一種非掃描非干涉的三維反射式光學(xué)顯微鏡,
利用物體表面上的高度差所造成的反射光角度改變,再經(jīng)由平行四邊形稜鏡將此角度改變轉(zhuǎn)換成靈敏的出射光強(qiáng)度改變。
為考慮稜鏡反射率對(duì)高度轉(zhuǎn)換之非線性誤差造成量測(cè)表面高度的誤差而進(jìn)行補(bǔ)償之研究,可將此非線性誤差減至最低,
使得所得之三維影像更接近真實(shí)。
此三維反射式光學(xué)顯微鏡,其放大倍率可達(dá)到兩百五十倍以上,可提供次微米的量測(cè),并擁有奈米級(jí)的縱向解析度,
可同時(shí)量測(cè)二維與三維之影像,量測(cè)上無論是粗糙之表面抑或是光滑表面上的小缺陷皆能快速被檢測(cè)出,
量測(cè)速度上因?yàn)槭褂肅CD擷取影像,如拍照一般,所以可做為大面積快速之即時(shí)量測(cè),十分創(chuàng)新有趣。
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