光柵式測徑儀簡介-顯微物鏡廠家
將平行的的兩點(diǎn)光源干涉后之干涉條紋投射在待測物上并固定條紋寬度,
由條紋寬度以及被待測物遮避之條紋數(shù)而可計(jì)算出待測物之尺寸,此即光柵式測徑儀。
一般常用來測量物體大小的工具,必須接觸待測物件因而容易在物件間形成磨損,或
是由掃瞄待測物件但因掃瞄馬達(dá)本身引入之誤差使得物件精度無法提高,本 ??文即利用
非接觸,非馬達(dá)掃讀的方式來進(jìn)行測量。
借由兩同調(diào)光所產(chǎn)生的直且等間距干涉條紋并投射在待測物上,而在干涉區(qū)之上下方
各置一檢測器,二者連線同步并且與干涉條紋平行,一檢測器置于待測物陰影區(qū)一置
于亮區(qū),若此兩檢測器同時(shí)測到的是亮紋或亮紋,計(jì)數(shù)器不計(jì)數(shù)唯獨(dú)上側(cè)之檢測器接
受到的是亮紋,下側(cè)檢測器是暗影時(shí)計(jì)數(shù)器才計(jì)數(shù)經(jīng)由此法可將被物體擋住的條紋找
出并由計(jì)數(shù)器計(jì)錄,當(dāng)條紋的寬度設(shè)定時(shí),待測物之尺寸就等于顯示出來之條紋數(shù)乘
以干涉條紋的寬度。
實(shí)驗(yàn)的精度取決于條紋的寬度與檢測器之鑒別率為了達(dá)到高精密須調(diào)整兩光源的
距離使其條紋之寬度在微米之范圍,
同時(shí)于檢測器前置一顯微物鏡使條紋寬度放大并適當(dāng)遮擋使得一次做有一條紋照射至檢測器,
以利于檢測器之檢測并將檢測值送入電腦由電腦完成運(yùn)算之工作。
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